根據(jù)歐姆定律，被測(cè)電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I。傳統(tǒng)的高阻計(jì)的工作原理是測(cè)量電壓V固定，通過測(cè)量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值。從歐姆定律可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無窮大時(shí)，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個(gè)刻度是非線性的。又由于測(cè)量不同的電阻時(shí)，其電壓V也會(huì)有些變化，所以普通的高阻計(jì)是精度差、分辨率低。

操作流程：

‌開機(jī)預(yù)熱‌：

打開設(shè)備電源開關(guān)，預(yù)熱不少于10分鐘，確保儀器穩(wěn)定工作‌。

‌樣品放置與電極配置‌：

打開屏蔽箱門，將樣品平鋪在不保護(hù)電極正中央，用保護(hù)電極壓住樣品，再插入被保護(hù)電極（需確保電極同軸且無短路）‌。

對(duì)于三電極法，樣品需覆蓋不保護(hù)電極，并調(diào)整保護(hù)電極間隙均勻‌。

‌參數(shù)設(shè)置‌：

通過FN鍵切換體積電阻率（RV）或表面電阻率（RS）模式‌。

設(shè)置測(cè)試電壓（如100V、250V、500V、1000V）、電化時(shí)間（默認(rèn)60秒）及樣品厚度‌。

‌開始測(cè)試‌：

關(guān)閉屏蔽箱門，按“Start”鍵啟動(dòng)測(cè)試，過程約1分鐘‌。

儀器實(shí)時(shí)顯示電阻值及電阻率（體積電阻率公式：ρV=RV×S/d，S為電極面積，d為樣品厚度）‌。

‌數(shù)據(jù)記錄與復(fù)位‌：

測(cè)試結(jié)束后記錄數(shù)據(jù)，高壓指示燈熄滅后打開箱門更換樣品‌。

用綢布清潔設(shè)備，樣品需放電處理‌。